清潔、耐用、低噪等等都是干式真空泵的實(shí)用標(biāo)簽。但在實(shí)際的干式真空泵應(yīng)用中，干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過程中，并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對(duì)顆粒氣體有良好耐受性，而是需要通過過濾設(shè)備來予以解決。此外即使是對(duì)顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵，我們?yōu)榉乐挂馔猓残枰M量避免介質(zhì)在真空泵泵內(nèi)由于化反或氣固變相形成顆粒物。