KOFLOC3660質量流量控制

供應日本KOFLOC質量流量控制器3660/KOFLOC小島質量流量計/控制器標準質量流量控制器型號3660系列型號3660系列質量流量控制器設計精密，成本較低。廣泛用于不同的領域，從實驗室和研究開發項目到各種分析儀器、真空裝置的標準采用機種，發揮了很好的實際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。 特點 □通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現快速回應。□通用的常閉型閥門確保了安全□使用電磁執行器保證了高效的可靠性□低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選） 技術指標  F.S.量程(N2換算)閥門種類控制范圍應答性精度重復性壓力耐壓操作差壓溫度使用溫度連接氣體部分材料電力連接輸入流量信號輸出流量信號需求電源供給10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)常閉電磁閥2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）設定±2%F.S.至2秒以內（標準）±1.5%F.S.以內（±2%F.S.以內）±0.5%F.S.以內980kPaF.S.≤5SLM49kPa-294kPa；5<F.S.≤20SLM95kPa-294kPa5°C-45°CSUS316、氟橡膠、氯丁橡膠（選購件）Dsub9個引腳公玡KFC/SEMI標準0-5VDC0-5VDC+15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA