三菱CPU單元Q06HCPU是28K步，是一款高速CPU，高性能型QCPU是以中大規模系統為對象的，在大幅提高CPU模塊處理性能和程序寄存器容量的同時，還提高了與網絡模塊，編程用外圍設備之間數據通信的性能。支持的本地I/O最大可達4096點，程序容量最大有252K步。最快指令僅需34納秒。除了可以使用梯形圖、語句表、ST（結構化文本，類高級語言）、SFC、FB等5種編程語言進行編程外還支持結構化編程，最大程序數量為252個。內置標準RAM及ROM，還可插存儲卡。有12M的USB和115K的RS232兩個編程接口（除Q02CPU）。高性能QCPU可支持多達4個CPU，一個系統中可集成順控CPU、過程控制CPU、運動控制CPU（最大96軸）、PC CPU。