美國Brooks5850E氣體質量流量計

質量流量計：

主要品牌美國Brooks(布魯克斯）

美國BROOKS布魯克斯公司熱式質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產品。它與傳統的體積流量儀器截然不同，BROOKS質量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產品在各種不同的工作環境下均有較高的精度。被測流量可設計成質量或體積單位。此外，所有BROOKS  INSTRUMENT質量流量計產品都能同現有的工業儀表兼容，安裝簡便。

常用型號有：5850E  /  SLA5850S  /  5851E/SLA5851S/5853S/SLA5853S、5964系列、0254控制單元

基本型號：5850E/SLA5850S

技術參數：數字信號/模擬信號輸出，可遠距離通過電腦直接顯示控制，可配顯示單元

介質：可選02、H2、N2、等非腐蝕性氣體或S02、HCL等腐蝕性氣體

最大工作壓力：1500PSI(10.432Mpa)

進氣口壓差：一般≤0.5MPA

精度：±1%

電氣接口：15Pins  D-Type

信號輸出：RS485

氣路接口：1/4VCR或1/4SWG

流量范圍：0-30SLPM

最高使用溫度：65°C

控制信號：0-5V/4-20MA

電源：±15V/15-24V

密封材質：Viton/Kalrez

主要應用領域為太陽能光伏、半導體、石油化工、LED、集成電路、玻璃光纖制造、各大科研院校等事業群體