產 品 詳 細 介 紹 
 
碳化硅密封環 
 
 
指標名稱 無壓燒結碳化硅 反應燒結碳化硅 加碳碳化硅 
純度（%）
碳化硅量 >97 >90 含碳量30% 
硬度
（HRA） ≥90 ≥90 ≥85 
顆粒度
（um） 0.5-0.7 8-20 20-40 
密度
（g/cm3） 3.06-3.15 >3.05 >2.65 
抗彎強度
（MPa） 400-580 350-450 200 
抗壓強度
（MPa） 3900 >2500 1800 
斷裂強度
（MPA） 3.05-4.6 4.3   
彈性模量
（GPA） 380-410 420   
熱傳導系數
（W/M.K） 102.6 35-110 125 
熱膨脹系數
（L/°C） 4.02x10-6 4.3x10-6 3x10-6 
泊松比 0.14 0.15