超純水是水中電解質幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質、微生物、微粒、有機物、溶解氣體降至很低程度，電阻值在0兆歐姆以上的水。傳統制備超純水的工藝是采用多級蒸餾法或離子交換法來制取，近年來，隨著膜分離技術的快速發展。超濾，微濾，反滲透過濾等工藝在水處理領域得到廣泛應用。目前制取超純水的工藝有反滲透，離子交換及EDI（電去離子）。超純水被廣泛應用于電子、電力，化工，電鍍，鍋爐及醫藥等行業。
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