廢氣處理系統(tǒng)包括：一個采用干性系統(tǒng)或濕性系統(tǒng)并通過廢氣排出管路與一個半導(dǎo)體器件制造系統(tǒng)相連的廢氣處理設(shè)備，和一個通過吸氣管路與廢氣處理設(shè)備相連的吸氣設(shè)備，該設(shè)備將廢氣從半導(dǎo)體器件制造系統(tǒng)吸入廢氣處理設(shè)備；其改進包括一個設(shè)置在形成廢氣排出線的前、后排氣管之間的微粒分離裝置，該裝置能夠從廢氣中分離和去除包含在廢氣中的微粒，所述的微粒分離裝置包括：一個確定氣腔的氣體容器，該容器被用來容納包含微粒且通過前排氣管的后端部分排出的廢氣；及一個設(shè)置在氣腔中的廢氣引導(dǎo)件，該件具有確定一個內(nèi)部空間且設(shè)置有開口的引導(dǎo)壁，通過這些開口，內(nèi)部空間與氣腔相互連通，形成廢氣引導(dǎo)件的引導(dǎo)壁是為了引導(dǎo)當(dāng)吸氣設(shè)備在運行時通過前排氣管的后端排入氣腔的廢氣，從而使廢氣在氣腔中在垂直、回轉(zhuǎn)流中流動。