廢氣處理系統(tǒng)包括：一個采用干性系統(tǒng)或濕性系統(tǒng)并通過廢氣排出管路與一個半導體器件制造系統(tǒng)相連的廢氣處理設備，和一個通過吸氣管路與廢氣處理設備相連的吸氣設備，該設備將廢氣從半導體器件制造系統(tǒng)吸入廢氣處理設備；其改進包括一個設置在形成廢氣排出線的前、后排氣管之間的微粒分離裝置，該裝置能夠從廢氣中分離和去除包含在廢氣中的微粒，所述的微粒分離裝置包括：一個確定氣腔的氣體容器，該容器被用來容納包含微粒且通過前排氣管的后端部分排出的廢氣；及一個設置在氣腔中的廢氣引導件，該件具有確定一個內部空間且設置有開口的引導壁，通過這些開口，內部空間與氣腔相互連通，形成廢氣引導件的引導壁是為了引導當吸氣設備在運行時通過前排氣管的后端排入氣腔的廢氣，從而使廢氣在氣腔中在垂直、回轉流中流動。