低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
低溫等離子廢氣處理設備已經還廣泛的應用于環境保護、包裝、紡織、塑料制品、汽車制造、電子設備制造、家電制造、計算機制造、手機制造、生物材料、衛生材料、醫療器皿、殺菌消毒、環保設備、石油天然氣管道、供暖管道、化工子、半導體、航空航天等行業中。

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