真空原理:因液體在常壓下溶解有大量空氣，使超聲在液體中的空穴作用不能得以有效發揮，因而不能達到最佳清洗效果。我公司的脫氣系統是在各清洗槽回路里設置一個真空脫氣裝置，流入脫氣裝置的溶液，經脫氣后，再回到清洗槽，從而提高超聲清洗效果。
 
效果：1 能吸出盲孔、狹縫以及零件之間的空氣，使清洗液容易流入，清洗能力大量提高；2 清洗液經脫氣后，超聲清洗效果更好；3 可以將清洗液加熱至閃點以上，使清洗液對污垢的溶解力倍增；4 在清洗工序中，利用高溫清洗液傳遞給被清洗零件均衡的熱量，使干燥工序得以順利進行；5 在真空狀態下，溶液沸點下降，蒸發速度加快；同時，因迅速形成真空，使附著在物體上的溶劑一同揮發。
安全対策
    清洗槽
    １）配有清洗冷卻功能，進行溫度控制（溫度異常時裝置停止）
２）液面計使用纖維傳感器，放大器放在配電柜及中轉箱里，箱內進行空氣凈化
    ３）循環泵全部配有安全防爆裝置
    ４）槽、過濾器、管道系統裝有地線
    ５）槽的開口部裝在局部排気處
    ６）自動閥全部使用氣閥
    真空蒸氣清洗干燥槽
    １）液封式真空泵、加壓泵、抽清洗液泵全部配有安全防爆裝置
 ２）液面計使用纖維傳感器，放大器放在中轉箱里，箱內進行空氣凈化
    ３）真空泵使用安全性高液封式真空泵
    ４）真空排気時的氣體通過冷卻了洗浄液沸騰、使氣體濃度下降
    ５）槽、管道系統裝有地線
    ６）閥門進行連鎖，蒸氣如果不達到規定的真空度，閥門就打不開
    ７）自動閥全部使用氣閥
    ８）槽、管道系統的高溫部位進行隔熱處理
   3 配電系統
    １）配電柜進行空氣凈化
   ２）中轉箱全部進行空氣凈化
３）蛍光燈從機器頂部吊入，與槽內的空氣進行隔斷
   4 其它
    １）清洗機下邊裝有接油盤
    ２）接油盤裝有漏液傳感器
    ３）配有二氧化碳滅火器    
．特長
1）清洗效果好
   本裝置的清洗第１槽里帶有超聲波清洗功能。使用炭氫化合物溶劑清洗時由于超聲波的效果很弱，所以本機裝有脫氣系統，使超聲波的效果增強。
2）干燥性好
通過真空清洗干燥槽的蒸氣將制品加熱進行真空干燥。由于使用的是真空干燥，制品的粘合部位及凹部位也可以完全干燥。
3）安全性高 機器全體采取了各種安全措施。清洗槽里裝有溶剤溫度冷卻裝置、局部排気裝置，泵、馬達裝有防爆裝置，配電柜裝有空氣凈化裝置等。 真空蒸氣清洗干燥槽雖然使用炭氫化合物溶劑，但是由于是在真空中進行氧濃度降低，確保了安全性。
真空泵使用安全性高的液封式真空泵。抽真空了的清洗溶劑的霧氣及蒸氣通過液體沸騰進行凝縮回收，從而降低了排出氣體的濃度。（爆炸下限濃度的２５％以下）本機裝備有二氧化碳自動滅火器。
 4）低運作成本  真空蒸氣清洗干燥槽里抽出的清洗溶劑的霧氣及蒸氣通過液體沸騰進行凝縮回收，從而降低了清洗液的消耗量。