石英管清洗機
石英管清洗機為浸泡式清洗機，用于晶體硅電池線上管式PECVD石墨舟的清洗，有四個清洗工位。
清洗工藝：上料－HF酸浸泡洗－純水浸泡洗－噴淋－下料
一. 主要參數：
清洗槽數量：2
最大石墨舟片長度：1320 mm
清洗槽尺寸（長*寬*高）：2850X500X520
槽體材質：進口PP
柜體材質：進口PP
PP氣動隔膜泵：流量 50L/min，德國VERDERAIR VA15, PP材質
去離子水壓力  0.3Mpa
去離子水流量  >20L/min
去離子水接口：1” PP管
壓縮空氣壓力  0.5-0.7Mpa
控制系統：PLC可編程控制，松下PLC，松下液晶觸摸屏
外型尺寸（長*寬*高）mm：3800*1410*1950
功率：100w，220V
二. 性能及結構特點：
本設備主要有本體槽體部分、管路系統、控制系統組成。