PECVD冷卻房
用途與規格：
? 適合于長1196mm規格的石墨舟的裝片和冷卻
? 外形效尺寸:L1600*D960*H2750mm
? 高級不銹鋼板SUS304# 方通和板料,經氬弧密實焊接制作而成
? 裝片臺采用SUS.304帶孔板制作,高低及傾斜角度可調
? 承載車進出及定位方便可靠，制作有緩沖塊,并有接近開關檢測
? 大風量高壓離心風機,風量大于1000m3/h,向下吹風
? 中效過濾器,過濾等級99%
設備特點: 
整個冷卻房采用不銹鋼304制作，保證整個設備堅固可靠； 
吹進空氣必須經過過濾網過濾； 
頂部裝有吸風罩和排風機； 
為達到節電效果，裝有自動裝置，當小車推進冷卻房后自動啟動，冷卻到規定時間或者小車離開冷卻房都能自動停止； 
凈化風機噪音小于50dB； 風葉保證每個部分都能吹到。