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現在由美國ICAN告訴你微尺度效應對氣體軸承的影響:
與宏觀旋轉機械相似,氣體軸承在微型旋轉機械中也發揮著巨大的作用,兩者之間的差異比較,動力MEMS的相繼開發,對微型軸承提出了超高速運轉的要求,根據軸承知識得氣體軸承將會替代干摩擦軸承和電磁軸承成為主要研究熱點。化學性質穩定、精度高、壽命長,能在各種工況下工作等特點,微型氣體軸承的SEM圖像。由于氣體軸承無需其它介質潤滑,摩擦阻力小且轉速較高,實用性引人注目,在MEMS其它研究領域也取得廣泛的應用,包括有芯片實驗室應用的微泵,微驅動器的微齒輪組裝結構。
隨著尺度變小,MEMS氣體軸承的動力特性也相應地變化。尺度變小給氣體軸承的設計、加工制造都帶來問題:小深寬比使得軸承的承載能力降低,且氣體軸承為不可壓縮性,現代微加工工藝的最小可蝕刻氣隙限制了直徑的縮小,以防止軸承出現動態不穩性,同時由于體-表面積比值增大,軸承的相對承載能力隨著尺度的減小而增大。ICAN等采用新的分析方法對軸向流氣體徑向軸承模型進行模擬,得出超短靜壓氣體徑向軸承動力學的尺度律,主要包含有靜壓剛度、動壓剛度、自然頻率、阻尼比和渦動比,并就尺度律進行了實驗驗證,結果表明:自然頻率和阻尼比的實驗測量值和理論分析較為一致
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