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廣州譚美電子科技有限公司

主營:高真空磁控濺射設(shè)備,量測設(shè)備,涂膠顯影設(shè)備,PECVD設(shè)備,RIE/ICP/DRIE深刻蝕設(shè)備,電子掃描顯微鏡,快速退火,等離子去膠,等離子刻蝕,電子束蒸發(fā),濕法工藝設(shè)備
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[供應(yīng)]Heatpulse 4100快速退火爐
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  • 產(chǎn)品產(chǎn)地:USA
  • 產(chǎn)品品牌:Heatpulse 4100快速退火爐
  • 包裝規(guī)格:Heatpulse 4100快速退火爐
  • 產(chǎn)品數(shù)量:0
  • 計量單位:臺
  • 產(chǎn)品單價:0
  • 更新日期:2013-12-17 07:59:29
  • 有效期至:2014-12-17
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Heatpulse 4100快速退火爐 詳細信息

Heatpulse 4100快速退火爐

原制造商:AG Associates
設(shè)備類型:快速退火爐
AG Associates Heatpulse 4100系列快速退火系統(tǒng)具有成本低,適用面廣等優(yōu)點。是專門為半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠家快速退火工藝設(shè)計制造的退火系統(tǒng),被廣泛應(yīng)用驗證。該系統(tǒng)采用自動傳片系統(tǒng)(Video),適用于標準硅片、復(fù)合半導(dǎo)體材料和其他材料的晶片,晶片尺寸可從3英寸到6英寸。操作簡便,自動化程度高,已廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)。
Heatpulse 4100優(yōu)越的工藝控制: 單片,閉環(huán)溫度控制;
快速升溫與降溫控制;
工藝重復(fù)性高;
4組加熱燈可分別控制,提高溫場均勻性。Heatpulse 4100工藝用途: 離子注入后快速退火
歐姆接觸快速合金
硅化物合金退火;
氧化物生長;
其它快速熱處理工藝。Heatpulse 4100 同管式高溫爐的比較: 一般管式高溫爐只能設(shè)定一個工藝條件,即一個溫度;
工藝周期長,使用不太靈活;
須24小時加電恒溫,能耗較高;
快速退火爐可以設(shè)定多個工藝條件,即多種溫度;
快速退火爐工藝時間短,使用非常靈活;
快速退火爐能耗很低;
快速退火爐同一臺設(shè)備既可用作生產(chǎn),也可用作科研,且任何科研工藝條件不會對生產(chǎn)工藝造成影響。Heatpulse 4100 同其他同類快速退火爐的比較: 更廣泛被行業(yè)使用,市場保有量第一
更容易取得備件
成本低
更容易取得服務(wù)   

廣州譚美電子科技有限公司(www.tanmytech.com)( sales@tanmytech.com)代理多家美、歐一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司的產(chǎn)品,公司主要經(jīng)營高真空磁控濺射設(shè)備、量測設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、PECVD設(shè)備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設(shè)備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發(fā)、濕法工藝設(shè)備。


我們擁有廣泛的采購網(wǎng)絡(luò)、強大的專業(yè)設(shè)備服務(wù)隊伍、先進的質(zhì)量檢驗檢測手段和國際領(lǐng)先的軟件開發(fā)和升級技術(shù),可為客戶提供各類進口半導(dǎo)體設(shè)備及備品備件、并提供長期優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)及技術(shù)支持保障。通過技藝精湛的設(shè)備生產(chǎn)、翻新,保證我們的設(shè)備具有出色的運作表現(xiàn),能夠滿足客戶的多種需求,降低客戶的生產(chǎn)成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務(wù)與支持,以高質(zhì)量的產(chǎn)品、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經(jīng)營理念和宗旨,為中國半導(dǎo)體工業(yè)、微電子工業(yè)、航天航空、研究機構(gòu)、高等院校、私營和合資企業(yè)提供優(yōu)質(zhì)設(shè)備和售后服務(wù),為廣大用戶提供高科技、高性價比產(chǎn)品,確保用戶核心利益,全力滿足用戶的需求,為他們提供專業(yè)的技術(shù)、專注的服務(wù),共創(chuàng)雙贏互利的合作關(guān)系。

經(jīng)營產(chǎn)品:

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