Hitachi FE-SEM 4500電子掃描顯微鏡

型號：    Hitachi  FE-SEM 4500
原設(shè)備制造商：Hitachi
類別：電子掃描顯微鏡        量測設(shè)備
狀態(tài)：專業(yè)翻新 (U.S.A.) 
交貨期： 8周
技術(shù)指標(biāo)：等于原廠技術(shù)指標(biāo)
Wafer 尺寸：小樣品
安裝服務(wù)： 包括
保修期： 驗收后30. 保修合同可選
產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)（英文）： Performance:                         
  Secondary electron image resolution: 1.5 nm at 15kv                                       
  Magnification: 20X - 500KX                         
  Electron Optics:                                         
  Electron gun: Cold field emmission source                         
  Lens type: electromagnetic                         
  Objective aperture: 4 position externally selectable                       
  Stigmator: Octopole electromagnetic                                           
  Scanning coil: 2-stage electromagnetic                                   
Sample Chamber                                   
  Size: Type I                           
  Airlock: prepumped， max sample size:50 mm diameter                               
  Stage motion: 5 axis manual                                             
                      X/Y: 25 mm， Z: 3-28 mm， T: -5Deg - +45 Deg.， R: 360 deg continuous           
  Draw-out door: Max sample size:150 mm dia.                                     
  Size: Type II                         
  Airlock: prepumped， max sample size:100 mm or 150 mm diameter                                       
  Stage motion: 5 axis manual                                             
                      X/Y: 100mm/50 mm， Z: 3-33 mm， T: -5 Deg - +60 Deg.， R: 360 deg continuous     
                                             
Display system:                                         
  Image display: Dual 12" monitors                               
  Scanning mode: Normal， reduced area ， line scan， photo scan， spot position， split screen                                             
  Scanning speed: TV， 0.3， 2， 9， 25， 35， 100， 160 320 s/frame                            &