反滲透水處理設備（膜分離）技術的應用使反滲透超純水設備從傳統的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器得到了一次進步。 　　近年來開始在國外推廣應用的ＥＤＩ（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達１８ＭΩ·ＣＭ的超純水，用于半導體、集成電路等行業?！? 　　反滲透超純水設備是采用專用ＲＯ技術設計，關鍵部件、設備采用進口名牌產品，工藝先進，質量可靠，可擴展性強，結構合理占地小，水利用率高，能耗低，全自動化運行，操作維護簡單。一般產水下限０．２５ｍ３／ｈｒ，上限不限，水回收率一般可達７５％以上，脫鹽率＞９８％。產水量隨進水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化。 　　反滲透超純水設備典型工藝流程為：　 １：　預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈－純水泵－用水點　 ２：　預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外燈－用水點 ３：　預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－ＥＤＩ裝置－純化水箱－純水泵－紫外燈－用水點 ４：　預處理→紫外線殺菌裝置→一級ＲＯ裝置→二級ＲＯ裝置→中間水箱→ＥＤＩ裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除ＴＯＣ?。眨盅b置→拋光混床→超濾裝置→用水點 　　水質符合美國ＡＳＴＭ標準，電子部超純水水質標準（１８ＭΩ＊ｃｍ，１５ＭΩ＊ｃｍ，２ＭΩ＊ｃｍ和０．５ＭΩ＊ｃｍ四級）