我公司設計制造的SV系列PVD多弧離子鍍膜機主要由以下部分組成: 1.真空筒體:采用全不銹鋼制造,雙層水冷結構 2.抽氣機組:采用旋片泵+羅茨泵+擴散泵組合的高效率真空機組 3.轉架系統:采用不銹鋼轉架,自轉與公轉相結合的行星運轉方式 4.水冷系統:采用全水套的水冷方式,冷卻效率高 5.電源系統:設計先進,性能穩定可靠 6.進氣系統:采用優質質量流量計結合自主研發的控制系統,確保進氣量穩定準確 7.控制系統:設計結構先進,有手動控制和自動控制兩種方式 8.弧離子源:設計獨特,高離化率 等離子體鈦金鍍膜技術簡介 一、等離子體鈦金鍍膜原理: 多弧離子鍍膜是把真空弧光放電用于蒸發源的鍍膜技術。即真空環境下引火器引燃弧光放電源(陰極)與真空室(陽極)之間形成自持弧光放電,使從陰極弧光輝點射出的陰極物質離子形成空間電荷層,產生強電場,使陰極表面上功函數小的開始發射電子;電流局部集中產生的焦耳熱使陰極材料局部地爆發性地等離子化,發射電子和離子,同時也放出熔融的陰極材料,在工件偏壓的作用下與反應器件化合而沉積在工件表面上,從而在工件上形成被鍍的膜。 二、等離子體鍍膜的特點: 1、直接從陰極產生等離子體; 2、入射粒子能量高,膜的致密度高,強度和耐久性好; 3、離子率高,一般可達60~80%,因此最大優點是蒸鍍速率快。 三、等離子體鍍膜應用: 1、在金屬表面鍍鈦金膜可大大提高其硬度和防腐耐磨性,提高使用壽命。在表殼、表帶、眼睛架、健身球、首飾、燈具、餐具、工藝美術品上鍍制氮化鈦膜,其效果可與黃金媲美,具有廣泛的實用價值。 2、工具、刀具、模具上鍍制氮化鈦膜可使其使用壽命增加5倍左右,最高可達8~10倍。