超純水的工藝大致分成以下幾種：

   1、采用離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

   2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透 →PH調節→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

   3、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點
設備特點
   超純水傳統的制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取，但采用離子交換樹脂通常需要經常性的進行樹脂再生，即耗費物力又浪費人工，我們公司經過多年實踐，同時結合最新的膜分離技術，常采用反滲透加離子交換系統（或EDI）相結合用來制備超純水，該工藝與傳統工藝相比具有運行成本低的優點（離子交換器的再生周期大大延長），運行可靠。與最新工藝相比具有造價低，耗材易得的優點。反滲透工藝技術先進，可靠。