XD-020型旋片式真空泵一.結構原理：XD型真空泵系單級直聯旋片式真空泵。
其抽氣原理如下：轉子偏心安裝在泵腔中，其上部緊貼泵腔內壁，轉子槽內有三片圓周方向均勻分布的旋片，當轉子定向高速旋轉時，轉子槽中的旋片在離心力的作用下緊貼泵腔內壁，將泵腔分成三個相互隔離且容積可周期變化的工作腔，使進氣腔容積周期性地擴大而吸氣，排氣腔容積周期性縮小壓縮氣體，從而獲得真空。
XD型真空泵具有以下特點：
1，真空泵和電動機直聯傳動，結構緊湊、重量輕。
2，真空泵排氣口裝有油氣分離器，能有效消除排氣中的油霧污染。
3，真空泵的吸氣口裝置有單向閥，可防止停泵返油并保持系統真空。
4，真空泵能在105-102Pa很寬的入口壓力范圍內工作。