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[供應]株洲鉑金零件加工 鉑網 鉑箔 白金靶材 白金顆粒廠家
- 產品產地：東莞
- 產品品牌：鼎偉
- 包裝規格：非標
- 產品數量：8566532
- 計量單位：片
- 產品單價：256
- 更新日期：2017-04-17 15:33:03
- 有效期至：2018-04-17
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株洲鉑金零件加工 鉑網 鉑箔 白金靶材 白金顆粒廠家
詳細信息
純度是靶材的主要性能指標之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業的迅速發展，硅片尺寸由6”，8“發展到12”，而布線寬度由0.5um減小到0.25um，0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
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規格：（網 箔 絲 顆粒 平面圓靶，方靶，臺階靶均可加工，規格按客戶要求定做）最薄0.02mm
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