回流檢測儀

檢測儀是采用了安定的氧化鋯陶瓷的材料探頭，本探頭和控制檢測儀組合使用能夠作為氧氣計量儀來使用

特點

采樣困難的小型密封容器或真空爐都能插入直接使用

1*10^-3Pa (1*10^-5Torr)減壓情況下也能測定氧氣

能夠任意安裝ICF法蘭、NW法蘭

規格

安裝方式

垂直、水平皆可安裝VG25法蘭

標準入氣口

SUS TP O.D.1/4（O-ring fitting）

測量范圍

1ppm～100%O21～1×10^-30atm O2

直線性

  ±1%FS以內或者±1ppm (兩者取較大者)

在線性

±1%FS以內或者±1ppm (兩者取較大者)

反應時間

90%應答:大約10秒以內(由低濃度到高濃度）

偏差

±2%FS以內/周

取樣方式

擴散

取樣溫度

最高300℃

取樣壓力

2atm～ 1×10^-3Pa (1×10^-5Torr)

暖機時間

大約20分鐘

組合

法蘭的種類尺寸變化標準氣體的線閥皆可靈活安裝