低溫等離子除臭設備反應區富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。低溫等離子廢氣處理設備無機械設備，空氣阻力小，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響，在250℃以下和在霧態工況環境中均可正常運轉，-50℃至+50℃的環境溫度仍可正常運轉。低溫等離子除臭設備使用壽命長，由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，抗氧化，采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。