廣東迪川儀器儀表有限公司

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詳細介紹：

FS4000系列微型氣體質量流量計是采用世界領先的微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）

FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍最大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍最大到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

產品特點:

      - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計

    - 支持多種連接方式，易于安裝與使用

      - 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

      - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高

      - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

      - 零點穩定度高

      - 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性

      - 低功耗、低壓損

      - 響應速度快

機械尺寸:

性能參數

FS4003

FS4008

單位

通徑

3

8

mm

最大流量

2， 3， 4， 5

10， 20， 30， 40， 50

SLPM

量程比

＞100:1

精度

±(1.5+0.2FS)

%

重復性

0.5

%

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

0.12

%/^oC

響應時間

10（默認、20、50、100、200、500、1000可設置）

ms

工作電源

8~24Vdc，50mA

輸出方式

線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

最大流量壓損

100