MF-U

176

系列 
— 
高倍率多功能測量顯微鏡 




特點



?

亮視場、大視野觀察可得到清晰、無閃


爍的正像。

?

使用長工作距離的目鏡，放大倍率可達 
  20X
(總倍率：4000X)。

?

和高級檢測顯微鏡一樣采用校正光學系 
  
統 (FS

系列)。

?

亮／暗視場觀察，偏光觀察和微 
  
分頭干涉對比 (DIC)

觀察。

?

使用立柱兩側的微調／粗調旋


                                                                      

性能參數



MF-UD         
176-593*



XY

工作臺移動范圍
           
50
x 50mm

Z

軸移動范圍
                   
150mm

分辨率
(可轉換)                 
0.001mm
/ 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"


測量精度 (20oC

時)            
XY

軸：(2.5
0.02L)μm, L 
無負載測量長度 (mm),
JIS B 7153


指示精度 (20oC

時)            
Z

軸：(5
0.04L)μm, L 
為測量長度 (mm)


浮動功能
                         

帶有快速斷開功能的 X

和 Y

軸

XY

工作臺臺面尺寸
           
280
x 280mm     280 x
280mm     350 x
280mm     410 x
342mm