往復式真空泵屬于低真空獲得設備，靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復式真空泵用以從內部壓力等于或低于一個大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復泵的極限壓力，單級為4×10～10Pa，雙級可達1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結晶、真空過濾等方面抽除氣體。
　　往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時45～20000立方米，單級泵極限壓力約為103帕，雙級泵可達1帕。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器，可抽除含水蒸汽的氣體；若安裝過濾器，則可抽除含塵氣體。
　　往復式真空泵對于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進口處必須加裝過濾器。
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