四氟甲烷 R14 CF4 CAS號 75-73-0 物理性質： 分子式 CF4 分子量 88.01 相對密度（水=1） 1.61(-130℃) 熔點℃ -183.6 沸點℃ -128.0 蒸氣壓 （kPa）(-150.7℃) 13.33 臨界溫度℃ -45.5 臨界壓力（MPa） 3.74 溶解性 不溶于水 質量指標： 四氟甲烷 質 量 指 標 指 標 名 稱 指 標 含量，%(v/v) ≥ 99.995 99.99 99.90 氮氣，%(v/v) ≤ 0.002 0.004 0.035 氧氣，%(v/v) ≤ 0.001 0.002 0.035 一氧化碳，%(v/v) ≤ 0.001 0.001 0.002 二氧化碳，%(v/v) ≤ 0.001 0.002 0.008 水份，（mg/g） ≤ 2.0 3.0 5.0 酸度，（mg/g） ≤ 0.1 0.1 0.1 總雜質含量（ppmv） ≤ 50 100 1000 用 途 用于微電子工業的等離子蝕刻劑，電子清洗，冶金，低溫制冷劑，合成橡膠。 包裝： 鋼瓶(14Mpa)（DOT-3AA GB-5099） 閥門（CGA-580/590,QF-2） 32KG/48.8L 30KG/43.3L 205KG/4L 儲運： 危險性類別 第2.2類不燃氣體，儲存于陰涼干燥處。