當操作真空度約為500Pa時，可以在刮膜蒸發器或降膜蒸發器中進行。但是，如果蒸餾必須在中高真空下操作（如壓力在0.001~100Pa之間）就存在問題了。必須選用在產品蒸汽壓不超過通過加熱表面和冷凝表面之間壓差的蒸發器，因而帶有外置冷凝器的蒸發器被排除在中高真空范圍的蒸餾過程之外。
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