機型\項目 TG5 TG6-9
鍍膜室規格 ?  ?700mm -800mm *800mm -880mm ?900mm -1000mm *1000mm -1200mm
極限真空度 ?  ≤7.6×10-4Pa
冷態抽真空時間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 ? 
機組配置 KT-400擴散泵機組 KT-400擴散泵機組
或KT-500擴散泵機組 KT-600擴散泵機組
靶配置 5個電弧靶1個磁控靶 6-9個電弧靶2個磁控靶 2個大面積弧靶2對孿生靶
配電要求 ?  40KW 50KW 60KW
備注 可根據用戶產品、產量、膜層特殊要求設計制造非標設備