真空泵機組不能單獨使用，必須和前級泵組成機組形式才能使用。根據不同的工藝要求和不同的前級泵配置，真空泵機組可由一臺或多臺真空泵和前級泵組成多級羅茨真空泵機組。

真空泵機組由于采用了水環真空泵作為前級泵，因而特別適用于抽吸濕度較大的氣體和含有較多水蒸汽及有一定腐蝕性和可凝性氣體的工業流程中。

真空泵機組適用于抽吸空氣及其它無可凝性及無腐蝕性的氣體，廣泛應用于需要大抽速和需要獲得低真空、高真空的各種真空系統中.
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