適用領域：應用在真空鍍膜、真空爐、電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域　 　　 　　                                                         結構組成：機械泵（干泵）、羅茨泵、擴散泵（分子泵）、濺射離子泵、真空計等 　　 　         　系統特點：智能啟動，實現高真空排氣，高真空計量、高真空實驗等 　　 　　             技術規格：根據客戶實際要求設計，極限真空度可達：5X10-6Pa。