常用的機械泵有定片式、旋片式、滑閥式，而最普遍采用的為旋片式真空泵（簡 稱旋片泵），它是一種油封式機械真空泵。旋片式機械泵既可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級預抽泵。它可以用來抽除真空密封容器中的 干燥氣體，在裝有氣鎮閥的情況下，也可以抽除一定數量的可凝性氣體。但不適用于抽除對金屬具有腐蝕性的含氧高的、含有顆粒塵埃的以及對泵油起化學反應的氣 體。旋片式機械泵是真空技術中獲得最基本真空的設備之一。

旋片式機械泵大多為中小型泵，它有單級泵和雙級泵兩種。雙級泵就是從結構上將兩個單級泵串聯起來。單級和雙級泵的區別在于雙級泵可以獲得較高的真空度。

在雙級泵中，當低真空級和高真空級存在不等腔時，就需要設罝輔助排氣閥。設置輔助排氣閥的目的是在入口壓力較高時，經高真空級壓縮的氣體達到排氣壓力 時，輔助排氣閥開始工作，部分氣體由此排出，剩余氣體由低真空級抽走。機械泵當入口壓力降低時，輔助排氣閥的排氣量會隨之減少，最終達到關閉。在整個抽氣 過程中，當可凝性氣體的分壓超過泵溫及達到飽和蒸氣壓時，可凝性氣體就會產生凝結并能混合于泵油中，隨著泵的運轉及泵油循環，在返回高真空端時會重新蒸發 變成蒸氣。將會影響泵的抽氣性能，加重了泵油污染。設置氣鎮閥可有效地防止可凝性氣體的凝結，即泵在壓縮過程中，氣鎮閥通過氣鎮孔將永久性干燥氣體摻入被 壓縮的氣體中，在可凝性氣體分壓達到泵溫時的飽和蒸氣壓之前，壓縮氣體壓力就能達到排氣壓力，將排氣閥打開，把可凝性及干燥氣體同時排出。在通常情況下油 封式機械泵都設置氣鎮閥，它的使用可參閱油封式機械真空泵技術說明書。這種泵的缺點是容易返油及噴油，為了克服這些缺點，生產廠家同時配有分子篩、油霧收 集器、塵埃過濾和油過濾器等配件。

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