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[供應]供應束管真空抽氣設備干式真空泵
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  • 更新日期:2014-09-29 09:11:19
  • 有效期至:2015-09-29
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供應束管真空抽氣設備干式真空泵 詳細信息

束管真空抽氣設備干式真空泵
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干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面: 
  1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中; 
  2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒; 
  3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求; 
   4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵; 
   5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
二、分類:
干式真空泵主要有下列幾種形式:
干式螺桿真空泵
無油往復真空泵
爪式真空泵
無油渦旋真空泵
專業生產研發工礦物資集團公司,并與相關科研機構聯合開發生產出了多種自動化程度高、靈敏度強、操作簡便靈活的礦用安全設備。現擁有束管監測系統生產線、礦用阻化泵車間、煤礦專用束管廠、色譜儀研發中心等部門。愿我們以真誠服務,期待與您的合作。
聯系人:王憲芹  電話:0537-2368725 手機:18660761595 18366749722  QQ:1903232843

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