品 名 ：HIVAC-F5
化 學 名 ：苯甲基有機硅油
技術參數：
外 觀：無色透明液體 粘度25℃mm2/s*：160 比重25℃：1.097 揮發部分150/24h(%)：B.P240℃/5mmHg 粘度溫度系數 V．T．C：0.88 折射率25℃：1.575 流動點℃：-15以下 

 HIVAC F-5 一種無色，低分子量的苯甲基硅油，是專用于高真空和超高真空的擴散泵油。具有優異的耐氧化性、熱穩定性、耐化學藥品性，不會出現類似石油類泵用油或脂肪酸酯類泵用油因為加熱以及氣體吸附所造成的熱裂解現象。也不會因為加熱而發生氧化，生成酸、焦油、瀝青類的物質。

 因此，HIVAC F-5 即使長期使用也能保證真空泵的穩定運行。HIVAC F-5 的真空度達到10 ～10  Torr,使用液氮凝氣閥，能夠獲得10-12Torr的超真空。