電子廠凈化工程 無塵車間 潔凈室無塵室施工單位無塵車間標準-分類
1.亂流式(TurbulentFlow)：
  空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵車間等級1,000-100,000級。
  優點：構造簡單、系統建造成本低，無塵車間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
  缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
2.層流式(Laminar)： 
  電子廠凈化工程 無塵車間 潔凈室 無塵室施工單位電子廠凈化工程 無塵車間 潔凈室無塵室施工單位層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵車間等級需求較高之環境使用，一般其無塵車間等級為Class1~100。其型式可分為二種：
(1)無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下側污染較嚴重。
  優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。
  缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)電子廠凈化工程 無塵車間 潔凈室 無塵室施工單位無塵車間垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
  優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
  缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。