適用于：2-6寸硅片清洗 產(chǎn)品規(guī)格 控制模式：半自動(dòng)控制（工件搬運(yùn)為手動(dòng)操作，工藝參數(shù)控制過程為自動(dòng)） 總體規(guī)格： 1200mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H) 工件：2-6寸硅片 產(chǎn)能：25片/槽 按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計(jì) 電源：380V，50HZ，2KW 純水：CL-PVC 進(jìn)口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m3/h 抽風(fēng)口：φ200*1 抽風(fēng)量MAX:700m3/h ，風(fēng)量口裝有蝶閥，可手動(dòng)調(diào)節(jié) CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:0.5m3/h N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:2m3/h 設(shè)備特點(diǎn)： 1. 半導(dǎo)體清洗設(shè)備骨架為SUS304外包3mmPP，外殼采用德國進(jìn)口PP-W板焊接； 2. 半導(dǎo)體清洗設(shè)備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制； 3.半導(dǎo)體清洗設(shè)備的槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置； 4.半導(dǎo)體清洗設(shè)備 之藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，污染； 5.半導(dǎo)體清洗設(shè)備的清洗區(qū)域配有高效過濾器，無二次污染機(jī)會(huì)； 6.半導(dǎo)體清洗設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE 管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水； 7.半導(dǎo)體清洗設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板； 8.用戶操作人員上料后，全過程自動(dòng)化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動(dòng)化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)； 9.半導(dǎo)體清洗設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計(jì)，確保人身和廠務(wù)安全； 地址:江蘇省常熟市辛莊光伏產(chǎn)業(yè)園光華環(huán)路32號(hào) 郵編:215500 總機(jī):0512-52992666 傳真:0512-52210111 銷售熱線:0512-52992301-8010 郵箱:sales@kzonetech.com 網(wǎng)址:www.kzonetech.com 張翠平：18852441913