適用于：2-6寸晶圓刻蝕清洗 產品規格 控制模式：半自動控制（工件搬運為手動操作，工藝參數控制過程為自動） 總體規格： 1400mm(L)×1000mm(W)×2000mm(H) 工件：2-6寸晶圓 產能：25片/槽 可按客戶產能需求設計 電源：380V，50HZ，2KW 純水：CL-PVC 進口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m3/h 抽風口：φ200*1 抽風量MAX: 700m3/h ，風量口裝有蝶閥，可手動調節 CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:0.5m3/h N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm，用量MAX:2m3/h 設備特點： 1. LED清洗設備骨架為SUS304外包3mmPP，外殼采用德國進口PP-W板焊接； 2. LED清洗設備采用 “PROFACE”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制； 3. LED清洗設備槽體設置溫度、液位監控裝置； 4. LED清洗設備的藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發，污染； 5.LED清洗設備清洗區域配有高效過濾器，無二次污染機會； 6.LED清洗設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE 管進行保護，防腐防水； 7.LED清洗設備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設備漏液損害廠務地板； 8.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預。設備具有自動化程度高、運行成本低、生產效率高、性能穩定、安全可靠等特點； 9.LED清洗設備安全性能高，設備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴格的設計，確保人身和廠務安全；