臺灣Kawake凱威科Screwvac系列無油螺旋式真空泵從一大氣壓到7.5×10-3torr都可以使用。如搭配魯氏真空泵使用，更可增加排氣速度及降低真空壓力到7.5×10-4 torr。 因為Screwvac系列無油螺旋式真空泵采用單段壓縮，壓縮路徑短，封粉或微粒負載高，封系統(tǒng)中的水汽容許量大。泵體內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子皆鍍有一屑鐵弗龍，所以具備耐腐蝕的能力。因此，Screwvac系列無油螺旋式真空泵是一款適合較嚴苛應(yīng)用，對制程及環(huán)境不會產(chǎn)品污染，也不會造成油品的消耗，堅固耐用，易于維護的新產(chǎn)品 實際應(yīng)用產(chǎn)業(yè)有：半導(dǎo)體制程真空、液晶顯示器制程真空、電子廠中央真空系統(tǒng)、醫(yī)院中央真空系統(tǒng)、食品醫(yī)藥制程真空、燈具制程真空、冷凍空調(diào)制程真空、線路板壓合制程真空、光學(xué)鏡片、金屬鍍膜真空、VCD&DVD光盤表面真空濺鍍、包裝印刷真空吸著、玻璃、大理石、金屬大型重物真空搬運等。