三坐標測量儀的導軌是保證機器平穩，高精度運動的關鍵，目前主要采用


氣浮導軌及直線滾珠導軌兩種形式。
1． 氣浮導軌
    氣浮導軌的核心是氣浮軸承（空氣軸承），利用氣浮軸承小孔節流形


成氣腔內的高壓，在導軌和氣浮軸承間形成具有一定承載能力和剛性的薄


膜。氣浮導軌具有無摩擦及無磨損的特性，由于勻差效應，運動的局部直


線度及角度擺動較小。精度較高的三次元定制一般采用氣浮導軌。
    氣浮軸承的性能有4個要求：即承載能力，承載剛性（氣浮間隙每變


化一微米承載能力的變化）、耗氣量、抗氣振能力。其他的要求還包括防


銹性能、安裝的工藝性，支承等的載荷設計亦不能忽略。對超高精度測量


機，氣浮間隙及氣腔壓力的穩定至關重要，超高精度測量機往往設置氣浮


軸承壓力檢查引出孔。
2． 直線滾珠導軌
      采用直線滾珠導軌的優點是省去全套壓縮空氣設備及氣動控制組件


，成本較低，適于無氣源的環境。它剛性較好，承載能力強，比簡單的滾


珠軸承，受個別滾珠疵瑕的影響要小，有一定的勻差效應。但由于鋼球及


導軌原因，該結構的測量儀器精度稍低，摩擦力較大，因而控制性能亦與


氣浮導軌特性不同。它的安裝、調整找正對整機的性能的影響亦較大。
      導軌面不能劃傷，如果劃傷需專業人員來返廠維修，劃傷后如果繼


續使用會導致氣浮軸承與導軌面產生直接摩擦，損壞機器。更詳細請訪問


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