在三坐標測量儀形位公差時，如圓度、平面度、圓柱度、同軸度等，取的點數不同，得出的結果也不同，如何建立不確定度評定時的數學模型及不確定的來源，不確定度的來源有很多方面：
1.設備本身的精度：這一方面是不可避免的，任何測量工具都有不確定性，只不過是大小的區別而已。就三次元來說，整體結構、驅動部分、傳動部分，還有測頭部分對一臺設備的不確定都影響都是很大的。
2.在公差計算方面，特別是計算過程中需要用到長度L的公差計算，比如垂直度傾斜度等，計算時取的L長度不一樣，就會放大或縮小設備本身的不確定性。
3.被測量產品的表面加工工藝：如果產品的表面粗糙度不好的話，對測量結果的影響也非常大，當表面粗糙度較大時，應采用較大直徑的測針；

4.取點的不同，取的點數不一樣，甚至點數一樣位置不一樣，所計算出來的結果可能也會差很多。當然，歸根結底這還是影像測量儀本身和被測產品本身的影響；

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