概述

T-Station 75 是 Edwards 新推出的入門級渦輪泵系統。它包括我們經過實踐檢驗的 EXT75DX，搭配油封的 E2M1.5 前級泵或 XDD1 隔膜泵，適用于需要完全干燥的應用。
T-Station 使用新的 TAG（Turbo 和有源真空計）控制器作為標準配置，可實現系統通過單按鈕啟動/停止、可控制其中一個有源真空計*、排氣閥控制*以及在真空計讀數匹配時延時或降壓啟動，因此 T-Station 非常適合一般的實驗室需求。

* 真空計和 TAV5 排氣閥必須單獨購買。

應用

·                一般實驗室應用

·                光譜學

·                表面分析

·                小型鍍膜系統

·                真空渦輪制造

特性與優勢

·                  完全組裝，隨時可用

·                通過集成的控制器控制渦輪泵、前級泵和可選的真空計

·                NW40、ISO63 或 CF63 入口法蘭

·                選擇前級泵、E2M1.5 油封泵 T-Station 75W 或 XDD1 隔膜泵 T-Station 75D

·                延時渦輪啟動選件，以便泵送更大容量

技術數據

N₂ 抽速

 

NW40

42 ls^-1

ISO63/CF63

61 ls^-1

N₂ 壓縮比

> 1 x 10¹¹

50Hz 時的前級泵速度

 

E2M1.5

1.6 m³h^-1

XDD1

1.2 m³h^-1

極限壓力

< 5 x 10^-8 mbar

進氣口法蘭

NW40、ISO63 或 CF63

排氣口法蘭

 

E2M1.5

11mm OD 噴嘴或 3/8 英寸 BSP

XDD1

裝配消音器或 1/8 英寸 BSP

重量