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西尼特(北京)電爐有限公司

主營:北京電爐 CVD設備,臺車爐, 坩堝爐,離子氮化爐,井式氣體滲碳爐,真空燒結爐,
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[供應]西尼特廠家供應高溫真空系統
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  • 產品產地:北京
  • 產品品牌:西尼特
  • 包裝規格:GCVD200
  • 產品數量:200
  • 計量單位:臺
  • 產品單價:0
  • 更新日期:2025-06-13 09:21:22
  • 有效期至:2035-06-11
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西尼特廠家供應高溫真空系統 詳細信息

     

CNT高真空CVD系統是一款專業在沉底材料上生長高質量石墨烯、碳納米管、碳化硅的專用設備,廣泛應用于在半導體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域。

高真空CVD系統主要由高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統、分子泵機組、自動化控制系統、冷卻系統等組成。

1、沉底材料可采用銅箔、石墨等;

2、生長腔體采用進口高純石英管,配石英支架、為石墨烯等材料的生長提供潔凈環境;

3、加熱腔體采用進口陶瓷纖維加熱器,均溫區200mm、對開式結構;

4、密封法蘭均采用不銹鋼材質,配水冷套,可連續長時間工作;

5、氣路系統采用三路質量流量計(可拓展多路),配預混系統;

6、真空系統采用分子泵機組;

7、控制系統采用10寸觸摸屏加西門子PLC模塊;

8、可選配RF射頻電源模塊;

9、氣體種類: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6

10、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制,通過PC實時控制和顯示相關的實驗參數,自動保存實驗參數,也可采用手動控制.

11、系統采用集成化設計,控制系統、混氣罐、質量流量計等均內置在箱體內部,占地面積小。整體安裝四個可移動輪子,方便整體移動。

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