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欣源科技(北京)有限公司

主營:微波發生器微波電源 2.45GHz 915MHz
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[供應]激光干涉儀廠家
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  • 產品產地:北京市海淀區信息路甲28號D座06A-6331
  • 產品品牌:欣源科技(北京)
  • 包裝規格:無
  • 產品數量:9999
  • 計量單位:套
  • 產品單價:2000000
  • 更新日期:2020-04-14 09:15:55
  • 有效期至:2021-04-14
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激光干涉儀廠家 詳細信息

雙光束激光干涉儀aixDBLI
(DoubleBeamLaserInterferometer)
雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數d33的測試。
這是世界上第一臺適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動的系統用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關性能的測試。
大量樣品測試的重復精度可達2%以上。
測試功能:
機電大信號應變、極化、壓電系數、小信號介電常數。
疲勞和電性及機械性能可靠性。
樣品測試:
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電系數。
技術參數:
分辨率:≤1pm(X晶向的石英)
測量范圍:5pm- /-25nm
波長:632.8nm
位移/應力測試:&gt50Hz,最小1Hz分辨率,欣源科技(北京)有限公司,欣源科技(北京),100mV到10V(可選到200V)
壓電d33系數:
 基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
 小信號100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V測試:
 基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz忄),.欣源科技(北京)|||激光干涉儀廠家
,可選到200V
小信號100mV到10V(1kHz到5kHz)
欣源科技SYNERCE獨家代理德國aixACCT公司的鐵電壓電熱釋電系列產亠品,.欣源科技(北京)|||激光干涉儀廠家
,包括:鐵電分析儀(鐵電測試儀、TF2000E、TFAnalyzer2000E/3000、極化測量儀)/壓電分析儀(壓電測試儀)/熱釋電分析儀(熱釋電測試儀),壓電材料綜合表征系統aixPES、多鐵材料磁電磁阻測試儀aixPES-MR、高低溫塊體壓電分析儀aixPES-600/800、電卡效應測試儀ECM、熱激發極化電流測試儀TSDC、超薄薄膜壓電雙光束激光干涉儀aixDBLI、陶瓷多層執行器測試儀(aixCMA、陶瓷多層驅動器測試儀、陶瓷多層電容器測試儀),機電薄膜e31測試儀aix4PB、阻變式存儲器測試儀RRAM、鐵電遲豫電流測試儀aixPES-RX、鐵電自放電測試儀aixPES-DR、鐵電隨機存儲器測試儀FeRAM、熱電性能測試儀COMTESSE(塞貝克系數測試儀)等。

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