電子行業超純水常規制備工藝
電子行業超純水常規制備工藝
1）采用離子交換方式，其流程如下： 
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點 
2）采用反滲透加離子交換方式，其流程如下： 
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機→陰陽樹脂混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點 
3）采用反滲透加EDI方式，其流程如下： 
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器（阻垢劑）→精密過濾器→反滲透機→EDI系統→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

中國國家電子超純水規格GB/T1146.1-1997
級別 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率
MΩ?cm（25℃） 18
(95%時間)
不低于17 15
(95%時間)
不低于13 12.0 0.5
全硅 最大值ug/L 2 10 50 1000
>1um微粒數，最大值 個/ml 0.1 5 10 500
細菌數，最大值，個/mL 0.01 0.1 10 100
銅，最大值 ug/L 0.2 1 2 500
鋅，最大值 ug/L 0.2 1 2 500
鎳，最大值 ug/L 0.1 1 2 500
鈉，最大值 ug/L 0.5 2 5 1000
鉀，最大值 ug/L 0.5 2 5 500
氯，最大值 ug/L 1 1 10 1000
硝酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
磷酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
硫酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
總有機碳，最大值 ug/L 20 100 200 1000