光氧催化廢氣凈化設備利用高能臭氧UV光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧所攜正負電子不平衡需與氧分子結合而產生臭氧。利用排風設備輸入到凈化設備后，凈化設備運用高能C波光束及臭氧對惡臭氣體共同進行分解氧化反應，使惡臭氣體轉換成低分子化合物、水和二氧化碳排出室外。利用UV光束分裂惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌核酸，進行氧化反應后，達到脫臭殺菌的目的。