上海德國貝克真空泵油好

隨著信息科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，半導體產(chǎn)品應用層面愈益廣泛，車用及通訊用等電子產(chǎn)品持續(xù)發(fā)展。真空技術也隨之不斷創(chuàng)新，擴展至包括PVD/CVD鍍膜制程、靜電吸附盤及蝕刻制程等設備，在半導體產(chǎn)業(yè)己占有舉足輕重的地位。但是半導體工業(yè)在芯片加工過程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強氧化劑，因而要求在工藝加工過程中廣泛使用的真空泵及其用油具有非常優(yōu)越的適應性。
通常用的真空泵油有兩種:碳氫化合物油與全氟聚醚油(PFPE)。碳氫化合物油極易燃燒，化學結構不穩(wěn)定，容易降解，使得潤滑性能容易降低，從而易導致真空泵出現(xiàn)故障。而PFPE由碳、氧、氟原子組成，屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類中的ISO-6743A-1987/DVB、DVD、VDF類油品。該油品中的氫原子全部為氟原子取代，由其分子結構特點決定，具有絕佳的熱穩(wěn)定性、化學惰性、不燃性。能夠在VF3、PH3、AsH3及其它鹵素化合物(BF3、BC13、PC13、TIC14、SnC14、SIC14)等具有強腐蝕性的環(huán)境中保持穩(wěn)定，甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用。與常規(guī)的油品相比，不僅安全，而且使用壽命長。PFPE可用于有制氧系統(tǒng)和有腐蝕氣體的半導體系統(tǒng)和強輻射的場合，尤其是針對半導體芯片加工過程中有特殊氣體及強腐蝕性化學物質的蝕刻制程和沉淀過程。

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